隨著半導體產業的蓬勃發展，特氣設備越來越多的應用于IC芯片生產、鍍層、實驗室科研等項目中。其中，特氣柜是專門為了應對易燃易爆、腐性、毒性等危險特種氣體供應而設計出來的一種供氣系統。

高純工藝系統電子特氣設備（特氣柜）

類型：可分為單鋼瓶/ 雙鋼瓶/ 三鋼瓶特氣柜

1.  單鋼的設計通常使用于研究機構或實驗室等；

2.  雙鋼與三鋼常用于量產工廠。

特氣柜設備設計：

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，進行系統顯示和設定，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）。擁有SIME S2認證，報警偵測警報功能齊全，在產品品質和安全上都是可以信賴和放心的，還可根據不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤面設計，可以滿足客戶的行業需求。

以上就是關于高純工藝系統電子特氣設備特氣柜的簡單介紹了，感謝您的閱讀！