全自動特氣柜（Gas Cabinet ）是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的供應系統，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）通過采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。

特氣柜主要用于特種氣體的高純度安全穩定輸送，如：輸送特種氣體參與泛半導體行業集成電路制造的核心工藝流程：摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環節。

應用領域：

1、半導體工廠；

2、大學實驗室；

3、液晶工廠；

4、太陽能電池工廠。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）擁有SIME S2認證，報警偵測警報功能齊，第一時間發現泄漏并阻止泄漏氣體擴散，及時報警處理，避免更大事故的發生，確保了正常生產和員工人身安全。