2020-12-02 10:37:48 責任編輯: 尾氣處理裝置制造廠商 0
半導體制造生產中會使用到多種特殊氣體,隨之產生的特氣尾氣需先通過尾氣處理裝置Local Scrubber做處理,再接續至廠務端做第二道處置后排出。這樣是為了避免在冗長的排氣過程中引發非預期的氣體泄漏,局部聚積或相互反應等意外,以減少廠務端污染物處理上的負荷,達到對半導體業空氣污染管制及排放的標準,避免對環境和周邊人員造成危害。
吸附式尾氣處理裝置Local Scrubber幾乎能夠處理所有小流量的氣體(部分PFC氣體除外),同時因其無需明火、不產生廢水、低能耗的性能特點,是特氣尾氣處理的常用裝置。
在吸附式尾氣處理裝置 Local Scrubber 中吸附材以高孔隙率和高密度填充提升入口出口壓差,因此尾氣出口端增加變頻風機可起到以下作用:
1、提升壽命:變頻風機可增加抽氣壓力,以增加藥劑填充數量,提升使用壽命。
2、穩定壓力:變頻風機可根據設定壓力值或廠務端氣壓自動調整風機轉速,穩定設備內壓力值和氣體流量,保證處理效率穩定。
3、避免回流:制程中若含有易阻塞管道和藥劑的粉塵,PLC會依據設定壓力,自動調整風機轉速維持入口壓力值,避免廢氣回流,造成系統及設備損害。
以上,就是在半導體制程工藝吸附式特氣尾氣處理裝置 Local Scrubber 中變頻風機的作用,感謝您的閱讀!