特氣管道系統不銹鋼管徑的計算特氣管道系統管徑的選擇是基于氣體的大小流量，氣體壓力值對計算的巨大影響不可忽視。此外，管道中氧氣的流速較低，可選擇8m/s。在芯片工廠的設計中，工藝設備的氣體消耗通常有兩個值，一個是峰值，另一個是平均值，對于不同的設備，峰值與平均值之間的差異是完全不同的。那么計算管道直徑的基準是什么流量？沃飛這里的技術提供了一些自己的設計經驗供參考:首先，芯片廠工藝設備的運行模式是間歇性的。在某一設備的運行過程中，當氣體消耗達到峰值時，會有一段短暫的時間，然后氣體消耗會下降甚至為零，導致峰值與平均值相差很大，甚至出現幾何級數的差異。對于主管道，所有工藝設備峰值之和流量可乘以系數(一般為0.7-0.8)作為流量值，因此計算出的管徑基本滿足供氣需求。由于FAB中的所有工藝設備不可能同時達到氣體消耗的峰值，因此沒有必要使用總峰值流量作為計算基礎。管徑過大只會浪費錢。對于支管甚至支管，需要根據實際情況進行具體分析。如果支管中有更多的氣點，可以使用主要的處理方法。如果用氣點不多甚至只有一個，用用氣點的總峰值流量計算更可靠。